Yêu cầu đo lường
Hai đầu quét bề mặt phủ điện cực, đo độ dày lớp phủ, phần mềm giám sát quá trình sản xuất cải thiện quy trình

Các tính năng chính Tổng quan
1. Đo lường không tiếp xúc, thiết kế tích hợp
2. Phạm vi áp dụng rộng, lắp đặt và tháo dỡ thuận tiện
3. Đảm bảo độ chính xác lặp lại ± 0,5 đến ± 1 μm
4. Quét loại đầu tiên, tốc độ có thể đạt 50mm/s, cải thiện đáng kể tốc độ phát hiện
5. Phát hiện ngoại tuyến, lưu trữ dữ liệu dày, hình thành thống kê quản lý/phân tích dữ liệu cơ bản
6. Chức năng báo động phong phú, nhắc nhở OK, NG, giám sát toàn bộ quá trình đo lường, kiểm soát chất lượng và nâng cao hiệu quả

Giải quyết vấn đề với thiết bị đo lường ở giai đoạn này

1. Có yêu cầu nhất định đối với vật liệu đo
2. Đo tiếp xúc, có thiệt hại cho vật liệu đo
3. Phạm vi đo nhỏ, vị trí không chắc chắn, khó xác định
4. Tốc độ đo chậm, độ chính xác thấp, lỗi đo lớn

5. Cấu trúc phức tạp và chi phí cao