Trong quá trình chuẩn bị nước siêu tinh khiết, việc giải thích TOC (tổng số carbon hữu cơ) là rất quan trọng, sử dụng công nghệ UV năng lượng cao áp suất thấp UV-185nm và kết hợp với máy tiệt trùng UV-254nm, có thể tạo ra các gốc hydroxyl tự do trong nước bằng cách xúc tác ánh sáng UV-185nm liều cao, oxy hóa phân hủy các chất hữu cơ trong nước để giảm hàm lượng TOC trong nước